中圖儀器CEM3000系列臺式掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價值。它用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)高性能。
產(chǎn)品型號
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強(qiáng)化機(jī)型,CEM3000A在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對大尺寸樣品或多個常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。同時,用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時間的同時,消除環(huán)境振動對電鏡的影響,保證了高倍數(shù)成像時的圖像質(zhì)量。
產(chǎn)品功能
1)臺式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機(jī),一臺機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有***的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測;
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000系列臺式掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
性能特色
1、緊湊外型
該系列臺式掃描電鏡整機(jī)經(jīng)過深入優(yōu)化,在結(jié)構(gòu)方面達(dá)到了優(yōu)尺寸利用率,確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約,無論是日常的工作桌面、還是狹小空間,CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶出現(xiàn)在有需要的地方。
2、自動調(diào)節(jié)
用戶可借助自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
3、高分辨率
CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
4、高抗振防磁性能
該系列臺式電鏡采用特殊設(shè)計的隔振措施,能夠減小環(huán)境中振動對電鏡的干擾,并且全系列電鏡具有強(qiáng)抗電磁干擾性能,消除場地因素對電鏡的影響。
其中CEM3000B更是采用本公司設(shè)計的高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)來消除外界振動對電鏡的影響,即使是在高放大倍數(shù)下成像,用戶也不用擔(dān)心環(huán)境振動對電鏡產(chǎn)生的干擾。
5、選配低真空系統(tǒng)
根據(jù)用戶需求,可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設(shè)定電鏡工作時的倉內(nèi)真空度(倉內(nèi)真空度低可達(dá)100Pa),以滿足不同類型樣品的觀測需求。
6、操縱手柄
操作手柄上集成了多個方向位移控制,自動調(diào)整及自動對焦、自動消像散等功能,可快速完成觀測位置調(diào)整及自動成像。
7、豐富的定制功能
根據(jù)特定行業(yè)的需求,定制了自動化的顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量等選配功能。
可根據(jù)用戶需求提供全自動軟件定制服務(wù)。
8、高精度樣品臺
該系列臺式電鏡采用全新設(shè)計的樣品臺,各自動軸均保證了動作精度和高重復(fù)性。
9、高襯度成像系統(tǒng)
CEM3000系列臺式掃描電鏡采集系統(tǒng)具有高信噪比,使用戶在快速掃描時也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號,CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進(jìn)行**剝離,確保成像質(zhì)量。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號
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CEM3000A(大樣品倉型)
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電子槍
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燈絲
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鎢燈絲
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分辨率
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優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV
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加速電壓
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1 ~ 20kV
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放大倍數(shù)
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電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)
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探測器
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二次電子
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標(biāo)配
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背散射電子
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標(biāo)配(四象限高分辨探頭)
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能譜儀
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選配
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自動化軟件
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標(biāo)配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強(qiáng)
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選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建
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真空系統(tǒng)
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真空度
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高真空:優(yōu)于9×10-3Pa
低真空:5 ~ 100 Pa(選配)
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抽真空時間
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低真空模式 < 1.5min
高真空模式 < 3min
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樣品臺
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自動軸
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X,Y,T
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手動軸
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R,Z
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行程范圍
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X: 50mm
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Y: 50mm
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R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn))
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T: -22.5°~ +22.5°
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Z: 45mm
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***大樣品尺寸
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70mm×70mm(水平)
45mm(高度)
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倉內(nèi)相機(jī)
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導(dǎo)航相機(jī)
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標(biāo)配高分辨彩色相機(jī)
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側(cè)視相機(jī)
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標(biāo)配高分辨紅外相機(jī)
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操作系統(tǒng)
圖片尺寸
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Windows10 (64bit)
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640×480
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1280×960
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2560×1920
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5120×3840
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10240×7680
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