激光干涉儀是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測量設(shè)備，由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場，隨即受到了相關(guān)行業(yè)特別是機(jī)床制造業(yè)的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高，測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途*為廣泛。
激光干涉儀功能：
激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。
激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。
激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。
激光干涉儀執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
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序號
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標(biāo)準(zhǔn)號
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標(biāo)準(zhǔn)名稱
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1
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ISO230-2
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老版國際標(biāo)準(zhǔn)
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2
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ISO230-1997
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新版國際標(biāo)準(zhǔn)
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3
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ANSI B5.54
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美國國家標(biāo)準(zhǔn)
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4
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ASME B89.1.12M
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美國機(jī)械工程師協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
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5
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NMTBA
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美國機(jī)床協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)
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6
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BS 3800
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英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
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7
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BS 4656
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英國三測機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
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8
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JIS B6330
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日本國家標(biāo)準(zhǔn)
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9
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GB 17421-2000
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中國國家標(biāo)準(zhǔn)
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10
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VDI 3441
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德國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
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SJ6000激光干涉儀技術(shù)指標(biāo)：
系統(tǒng)性能
² 測量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時間：約6分鐘
² 工作溫度范圍：(0~40)℃
² 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
² 存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
² 測量距離：(0~40)m
² 測量精度：0.5ppm (0~40)℃
² 測量分辨力：1nm
² 測量*大速度：4m/s
角度測量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測量范圍：±10°
² 測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
² 測量分辨力：0.1″
平面度測量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測量范圍：±1.5 mm
² 測量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
² 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測量分辨力：0.1μm
直線度測量
² 軸向量程：(0.1~4.0)m
² 測量范圍：±3mm
² 測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
² 測量分辨力：0.01μm
垂直度測量
² 軸向量程：(0.1~3.0)m
測量范圍：±3mm
² 測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
² 測量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測量
² 角度測量范圍：(0~360)°
² 測量精度：±1″
*高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。
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