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川崎機器人 NS510 3軸 用于半導體、有機EL、LCD面板機器人

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品牌: 川崎
單價: 面議
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2018-06-13 15:27
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店鋪基本資料信息
 
產品詳細說明
 

NS系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板

經典水平多關節(jié)手臂

NS系列無塵機器人以其長期現(xiàn)場使用證明其具有300mm晶圓搬運所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運動功能,具有線性軸的可選長度,以實現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。
SEMI F47合規(guī)
NS型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。
SEMI S2合規(guī)
NS型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。
翻轉夾持軸
NS411型號有一個附加軸,用于在水平和垂直角度搬運晶圓。
懸掛式安裝
NS511型號具有吊裝規(guī)格設計,用于在化學液體環(huán)境中使用,同時滿足ISO 5級的要求。

NS系列的規(guī)格

型號 NS410 NS411 NS420 NS510 NS511
構造 水平多關節(jié)型
自由度 3 軸 4 軸 4 軸 3 軸 4 軸
運動范圍 Y 軸
(行進JT1)
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 
4 FOUP: 1,670 mm
- -
θ 軸  
(旋轉JT2)
380° 325° 325° 360° 473°
Z 軸
(上下JT3)
380 mm 380 mm 380 mm 440 mm 440 mm
X 軸
(上下JT4)
710 mm 798 mm X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm
598 mm 816.5 mm
F 軸
(旋轉JT5)
- 156° - - 200°
重復性 ± 0.1 mm  (晶圓中心)
無塵度*1 ISO 2級 ISO 5級
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內測得