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川崎機器人 NX520 5軸 用于半導體、有機EL、LCD面板機器人

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品牌: 川崎
單價: 面議
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2018-06-13 15:27
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店鋪基本資料信息
 
產品詳細說明
 

NX系列機器人

用于半導體、有機EL、LCD面板

中等伸展距離水平手臂

NX系列無塵機器人被設計為與兩個或三個300mm的FOUP配合使用,而不需要使用軌道。NX系列在設計上與NS系列類似,但是附加的獨立軸更換了RTZ動作設計,顯著增加了NX的運動范圍。
卓越的伸展距離
單個的NX系列手臂可以達到2或3個FOUP而不需要線性軸。該手臂被設計為高剛性,以及可以利用窄間距訪問晶圓臺以及FOUP中的任意位置。
高吞吐量
NX系列實現(xiàn)了利用雙臂機械手,如NX520,從FOUP到校準器然后到平臺200晶圓每小時(WPH)的吞吐量。
SEMI F47合規(guī)
NX型號可以瞬時響應電波動,如電壓下降,并且在電壓恢復時自動恢復運行。
SEMI S2合規(guī)
NX型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設備的損壞。

NX系列機器人規(guī)格

型號 NX510 NX520 NX540
構造 水平多關節(jié)型
自由度 4 軸 5 軸 4 軸
鏈接 2 2 3
運動范圍 θ 軸
(旋轉JT2)
330° 330° 318°
440 mm 440 mm 440 mm
Z 軸
(上下JT3)
832 mm 832 mm 1,232 mm
336° 336° 336°
X 軸  
(前后JT4)
- 336° -
W 軸 - 下
(旋轉JT6)
W 軸 - 上
(旋轉JT7)
重復性 ± 0.1 mm  (晶圓中心) ±0.25 mm
無塵度*1 ISO 1級
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內測得