NX系列機(jī)器人
中等伸展距離水平手臂
NX系列無塵機(jī)器人被設(shè)計(jì)為與兩個(gè)或三個(gè)300mm的FOUP配合使用,而不需要使用軌道。NX系列在設(shè)計(jì)上與NS系列類似,但是附加的獨(dú)立軸更換了RTZ動(dòng)作設(shè)計(jì),顯著增加了NX的運(yùn)動(dòng)范圍。
卓越的伸展距離單個(gè)的NX系列手臂可以達(dá)到2或3個(gè)FOUP而不需要線性軸。該手臂被設(shè)計(jì)為高剛性,以及可以利用窄間距訪問晶圓臺(tái)以及FOUP中的任意位置。高吞吐量NX系列實(shí)現(xiàn)了利用雙臂機(jī)械手,如NX520,從FOUP到校準(zhǔn)器然后到平臺(tái)200晶圓每小時(shí)(WPH)的吞吐量。SEMI F47合規(guī)NX型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng),如電壓下降,并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)NX型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能,以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
NX系列機(jī)器人規(guī)格
型號(hào) |
NX510 |
NX520 |
NX540 |
構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)型 |
自由度 |
4 軸 |
5 軸 |
4 軸 |
鏈接 |
2 |
2 |
3 |
運(yùn)動(dòng)范圍 |
θ 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2) |
330° |
330° |
318° |
440 mm |
440 mm |
440 mm |
Z 軸
(上下JT3) |
832 mm |
832 mm |
1,232 mm |
336° |
336° |
336° |
X 軸
(前后JT4) |
- |
336° |
- |
W 軸 - 下
(旋轉(zhuǎn)JT6) |
W 軸 - 上
(旋轉(zhuǎn)JT7) |
重復(fù)性 |
± 0.1 mm (晶圓中心) |
±0.25 mm |
無塵度*1 |
ISO 1級(jí) |
控制柜 |
D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測得