測(cè)量原理
絕對(duì)測(cè)量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。絕對(duì)位置信息來自一系列絕對(duì)碼構(gòu)成的光柵刻線。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)通過細(xì)分生成位置值，同時(shí)也能生成供選用的增量信號(hào)。圖示為帶附加增量刻軌的絕對(duì)式編碼光柵尺（例如LC 485）絕對(duì)
海德漢公司的光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長(zhǎng)度測(cè)量用的光柵尺基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，
典型柵距40 μm
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，
典型柵距20 μm
• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵
距20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵
（典型柵距8 μm）
• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格
柵線條，超強(qiáng)抗污能力，典型柵距不超
過8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵
線條，超高反光性能，典型柵距不超過
2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的
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