MFS2200D
實(shí)現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運(yùn)!
大型液晶玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人
負(fù)載:50KG
動(dòng)態(tài)范圍:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬運(yùn)、潔凈室
適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運(yùn)。
高速、穩(wěn)定搬運(yùn),提高生產(chǎn)效率。
高度柔性動(dòng)作,大幅度削減配套設(shè)備費(fèi)用。
長(zhǎng)期保持高潔凈度,降低運(yùn)營(yíng)成本。
大幅縮短生產(chǎn)線建立時(shí)間。
項(xiàng)目 規(guī)格
名稱 MOTOMAN-MFS2200D-3600
機(jī)型 YR-MFS050D-A00
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)形(6個(gè)自由度)
負(fù)載 50kg/手臂
重復(fù)定位精度*1 ±0.2mm
動(dòng)作范圍 U軸(上下軸) 3600mm
S軸(回轉(zhuǎn)軸) -180.5°~+180.5°
L,R軸(前后軸) -1780mm~+1780mm
左右運(yùn)作 -50mm~+50mm
扭動(dòng)運(yùn)作 -6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
-0.5°~+0.5°(以上范圍以外)
速度 U軸(上下軸) 950mm/s
S軸(回轉(zhuǎn)軸) 1.57rad/s,90°/s
L,R軸(前后軸) *大3600mm/s
容許力矩 L,R軸(前后軸) 353N·m
容許慣性力矩(CD2/4) L,R軸(前后軸) 71kg·m2
標(biāo)準(zhǔn)噴涂色 孟塞爾munsell N9.5
本體質(zhì)量 2430kg
潔凈度*2 ISO4
安置環(huán)境 溫度 15~25°C
濕度 20~80%RH(不結(jié)露)
振動(dòng) 4.9m/s2以下
其他 ·環(huán)境沒有引火性及腐蝕性氣體,液體
·遠(yuǎn)離水
·遠(yuǎn)離電子噪音源
·安裝機(jī)器人水平面水平度在0.5mm以下
電源容量*3 12.0kVA
*1:依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2:潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下,來確保工件搬運(yùn)面以上潔凈度。
*3:根據(jù)用途、作業(yè)形式會(huì)有所不同。