安川機(jī)器人|MOTOMAN-SEMISTAR-VD95D|6軸垂直多關(guān)節(jié)型
負(fù)載:95KG
動態(tài)范圍:2300mm
控制柜:DX100
用途:搬運(yùn)、潔凈室
適用于真空環(huán)境內(nèi)*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人!
大動作范圍:*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。
手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動實現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。
項目 |
規(guī)格 |
備注 |
名稱 |
SEMISTAR-VD95D |
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機(jī)型 |
XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) |
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構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)形(4個自由度) |
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動作范圍 |
L,R軸(伸縮) |
2300mm |
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S軸(旋轉(zhuǎn)) |
-170°~+170° |
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U軸(升降) |
150mm |
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動作時間*1
(*高速度運(yùn)作時) |
L,R軸(伸縮) |
3.2秒以下 |
2300mm伸縮距離 |
S軸(回轉(zhuǎn)) |
3.8秒以下 |
340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L,R=0) |
U軸(升降) |
2.5秒以下 |
150mm升降距離 |
重復(fù)定位精度*2 |
各軸±0.3mm |
抓手安裝部分中心位置時 |
手臂抖動精度 |
±0.3mm以下 |
水平方向,抓手安裝部分中心位置時 |
負(fù)載 |
95KG/手臂 |
含抓手重量 |
容許慣性力矩(CD2/4) |
*大118kg·m2 |
含抓手重量,抓手安裝部分中心位置時 |
耐真空度 |
1*10-6Pa |
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本體質(zhì)量 |
1500kg |
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適用控制柜式樣 |
ERDR-VD0095D-A00 |
三相AC200V,3.0kVA
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*1:動作節(jié)拍不保證帶有基板時搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時,會影響動作節(jié)拍,請重新設(shè)定。
*2:依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動作重復(fù)定位精度。但有無工件時負(fù)載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。