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安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124
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品牌： 安川
產(chǎn)品名稱： 安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124
單價(jià)： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2020-06-15 09:01
瀏覽次數(shù)： 539
詢價(jià)
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說明
 

安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124

適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級(jí)版，引領(lǐng)業(yè)界的***！供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時(shí)的高速搬運(yùn)。

半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人
負(fù)載：-
動(dòng)作范圍：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬運(yùn)、半導(dǎo)體
安川機(jī)器人SEMISTAR-MR124
 

大動(dòng)作范圍：EFEM模塊移動(dòng)距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備，無需使用底架，極大地提高了搬運(yùn)效率。
高速搬運(yùn)：300枚/小時(shí)
適用：300mm-450mm晶片搬運(yùn)


項(xiàng)目 規(guī)格
機(jī)械臂 適用晶體尺寸 300mm(450m)*1
晶體把持方式 真空吸附夾具或邊緣夾具
標(biāo)準(zhǔn)邊緣效應(yīng)器長(zhǎng)*2 對(duì)應(yīng)345mm＠300mm的晶體
驅(qū)動(dòng)軸數(shù) 5軸
手臂類型 單臂
動(dòng)作范圍 R軸伸縮*3 1215mm
θ軸回旋 330°
Z軸升降 480mm
B軸回轉(zhuǎn) 440°
*小回轉(zhuǎn)半徑*2 510mm
*快速度*2 伸縮 260°/s
回旋 330°/s
升降 550mm/s
B軸回轉(zhuǎn) 350°/s
線性 2000mm/s
重復(fù)定位精度*2 0.1mm(P-P)
質(zhì)量 66kg
位置調(diào)整器 適用晶體尺寸 300mm
晶體把持方式 真空吸附夾具
檢出對(duì)象 凹槽
晶體材質(zhì) 珪素*4
晶體邊緣檢出傳感器 LED + CCD線性傳感器
動(dòng)作范圍 回旋 無限制
*快速度(加速/減速時(shí)間) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度 ±0.03°
LINEMENT時(shí)間 1.7秒以下
質(zhì)量 5.8kg
設(shè)置環(huán)境 潔凈等級(jí)*5 ISO等級(jí)1
使用溫度·濕度 20～30℃,35～55%RH(不結(jié)露)
保管溫度·濕度 0～40℃,35～80%RH(不結(jié)露)
標(biāo)高 表高1000m以下
環(huán)境 無爆炸性，腐蝕性，可燃性氣體
MCBF 1500次循環(huán)以上


*1：本公司標(biāo)準(zhǔn)終端效應(yīng)器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)品),當(dāng)使用本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對(duì)應(yīng)終端校準(zhǔn)器時(shí)
*3：機(jī)械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對(duì)應(yīng)終端效應(yīng)器時(shí))
*4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準(zhǔn)的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請(qǐng)與我司聯(lián)系。石英晶體也可對(duì)應(yīng)（有業(yè)績(jī)）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進(jìn)行評(píng)價(jià)和調(diào)整。
*5：在0.3m/s的流量下，機(jī)械臂進(jìn)行真空吸附



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