SuperView W1
光學(xué)3d輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
產(chǎn)品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）
光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)
***大點(diǎn)數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）
臺(tái)階測量：準(zhǔn)確度≤0.3%，重復(fù)性≤0.08%1σ
產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能。
2) 測量中提供自動(dòng)多區(qū)域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板，結(jié)合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
SuperView W1光學(xué)3d輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中�？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
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