“點(diǎn)亮”中國(guó)的LED高端裝備

12月6日，具有國(guó)際尖端技術(shù)水平的國(guó)內(nèi)首臺(tái)套MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)設(shè)備在上海張江理想能源公司成功下線，并與世界知名的臺(tái)資龍頭企業(yè)簽約供貨。此舉打破了高亮度LED芯片設(shè)備生產(chǎn)長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷的局面，使重大裝備國(guó)產(chǎn)化邁出堅(jiān)實(shí)一步。

MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備，因設(shè)備技術(shù)難度高、開(kāi)發(fā)周期長(zhǎng)以及國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因，市場(chǎng)主要被歐美日企業(yè)所壟斷。我國(guó)高亮度LED外延芯片與封裝在規(guī)模與素質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就，但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口，生產(chǎn)成本居高不下，嚴(yán)重制約著LED 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開(kāi)發(fā)出更高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備成為L(zhǎng)ED外延芯片企業(yè)的迫切要求。

2010年9月，理想能源啟動(dòng)MOCVD項(xiàng)目，在短短的一年時(shí)間里，理想能源技術(shù)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備，并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝，成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的首次發(fā)光。經(jīng)過(guò)設(shè)備原型機(jī)近1年的運(yùn)行證明其性能達(dá)到甚至超過(guò)預(yù)定指標(biāo)，并于2012年5月通過(guò)上海市科委的驗(yàn)收。依據(jù)連續(xù)的工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶數(shù)據(jù)反饋，在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備，量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升。

理想能源首臺(tái)量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的下線，將有望逐步打破量產(chǎn)化MOCVD設(shè)備一直被國(guó)外廠商壟斷的局面，國(guó)產(chǎn)設(shè)備將與進(jìn)口產(chǎn)品同臺(tái)競(jìng)技，為廣大LED外延芯片企業(yè)改善產(chǎn)品品質(zhì)、降低生產(chǎn)成本，提供優(yōu)質(zhì)的本土化服務(wù)。

在下線儀式上，臺(tái)灣璨圓光電公司代表與理想能源MOCVD總經(jīng)理奚明博士代表雙方就首臺(tái)MOCVD出貨及后續(xù)多臺(tái)套設(shè)備的深入合作簽署了協(xié)議。

國(guó)家工信部、國(guó)家科技部，上海市發(fā)改委、市經(jīng)信委、市科委，浦東區(qū)委、區(qū)政府，張江高新區(qū)、張江集團(tuán)相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席儀式，正泰集團(tuán)股份有限公司董事長(zhǎng)南存輝出席儀式并做講話。南存輝說(shuō)，“我們立足技術(shù)創(chuàng)新不動(dòng)搖，立足高端裝備制造不動(dòng)搖，立足實(shí)業(yè)發(fā)展不動(dòng)搖，充分發(fā)揮尖端技術(shù)、高端人才與產(chǎn)業(yè)和金融資本融合的優(yōu)勢(shì)，為天更藍(lán)、地更綠、水更凈做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)�！�