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發(fā)布信息

川崎機(jī)器人 NT620 雙手臂 無塵機(jī)器人
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品牌： 川崎
軸數(shù)： 5軸
重復(fù)定位精度： ±0.1mm
單價(jià)： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長(zhǎng)期有效
最后更新： 2021-06-23 11:08
瀏覽次數(shù)： 392
詢價(jià)
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細(xì)說明

NT系列機(jī)器人

用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板、太陽(yáng)能面板

長(zhǎng)伸展距離水平手臂

NT系列無塵機(jī)器人設(shè)計(jì)的目的是讓一個(gè)機(jī)器人可以伸展開來管護(hù)多達(dá)四個(gè)FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計(jì)，以400晶片每小時(shí)（WPH）的速率來搬運(yùn)300mm或450mm晶圓，而沒有使用校準(zhǔn)器。

NT系列機(jī)器人:

NT410 / NT510 單手臂
       NT420 / NT520 雙手臂
       NT620懸掛式安裝，雙手臂

 

應(yīng)用:

  • 無塵室

無塵機(jī)器人外設(shè):

  • 抓手
  • 校準(zhǔn)器NS004



 
卓越的伸展距離
單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個(gè)。
高吞吐量
標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH�？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
SEMI F47合規(guī)
NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。
SEMI S2合規(guī)
NT型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測(cè)
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
懸掛式安裝
NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO1級(jí)的要求。


應(yīng)用范例

NT系列寬廣的運(yùn)動(dòng)范圍使其能夠訪問主室，而不需要一個(gè)梭子或額外的機(jī)器人。

布局范例

一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到4個(gè)FOUP就訪問所有的EFEM。

 

NT系列機(jī)器人規(guī)格

型號(hào) NT410 NT420 NT510 NT520 NT620
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型
自由度 4 軸 5 軸 4 軸 5 軸 5 軸
運(yùn)動(dòng)范圍 θ1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT2)		 340° 340° 340° 340° 340°
Z 軸
(上下JT3)		 400 mm 400 mm 470 mm 470 mm 600 mm
θ2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT4)		 340° 340° 340° 340° 340°
H1 軸
(旋轉(zhuǎn)JT6)		 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2 340° (380°) *2
H2 軸
(旋轉(zhuǎn)JT7)		 - 340° - 380° 380°
*大伸展距離 1,230 mm 1,280 mm 1,230 mm 1,280 mm 1,250.7 mm
重復(fù)性 ± 0.1 mm  （晶圓中心）
無塵度*1 ISO 1級(jí)
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測(cè)得


 

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