Setra西特760真空計

Setra Model 760 電容壓力計是為的、可重復(fù)的真空測量而設(shè)計的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。 測 量 單 位 可 以 是 Torr， mbar/hpa， kpa 或psia。 Model 760 的工作電壓是 15VDC，輸出 0~10VDC或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標準 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過濾等技術(shù)， Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能Model 760 有一個完整的滑面，很*提供有的零點調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計。 Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭

應(yīng)用 半導(dǎo)體過程工具和設(shè)備 實驗室和研究開發(fā)，實驗和測量，度量，分析化學(xué)系統(tǒng)
特性· **：標準 ±0.25% of Reading ，可選 ±0.15%· 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)· 多種壓力連接和電氣連接方式· 符合 CE 標準■ 出眾的 EMI/RFI 性能■ 耐腐蝕的 Inconel ® 設(shè)計■ 出色的熱穩(wěn)定性
Model 760 中**的壓力傳感元件 VactronTM pressuresensor，是在 Setra 磚利技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來的。在敏感元件*有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電。電和膜片在一個低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個可變電容。這一電容的變化被 Setra特的集成電路檢測并被轉(zhuǎn)換成**的線性直流信號，該集成電路是根據(jù)西特磚利技術(shù)負荷平衡原理設(shè)計的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計獲得了出色的零點穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。 Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計。▲適用于與 Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲壓力范圍： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia，
0~2 kpa 至 0~100kpa