上海2013年3月14日電/美通社/--在下周即將舉行的SEMICONChina展會期間,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)將正式發(fā)布多反應(yīng)器金屬有機(jī)化合物氣相沉積設(shè)備(MOCVD),并首次進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場。PrismoD-Blue?MOCVD設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結(jié)構(gòu)的大批量生產(chǎn),這些超薄層結(jié)構(gòu)對于高亮度LED是必需的。中微的MOCVD設(shè)備不僅具有精準(zhǔn)的參數(shù)控制、全自動化處理和獨(dú)特的緊湊設(shè)計等特點(diǎn),而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入,是LED芯片制造過程中必不可少的新一代MOCVD設(shè)備。
目前,中微已有MOCVD設(shè)備在國內(nèi)一家著名的LED廠家運(yùn)行。
硬件優(yōu)勢:中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備可以容納多達(dá)4個反應(yīng)器,每個反應(yīng)器都可以獨(dú)立控制。這一創(chuàng)新設(shè)計可以實(shí)現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類設(shè)備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品,也就是說,中微的MOCVD設(shè)備可以以并行或者串行模式運(yùn)行,這就減少了交叉污染,并且保證了晶體的高質(zhì)量,這是先進(jìn)的LED器件所必需的。中微的MOCVD設(shè)備在占地面積上也有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢,它比競爭者的單反應(yīng)器機(jī)臺的占地面積小了近30%,因此,PrismoD-Blue對于目前的LED芯片生產(chǎn)線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。
設(shè)備優(yōu)異,市場廣闊,時機(jī)成熟:進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。作為一個新興的創(chuàng)新領(lǐng)軍者,中微為全球半導(dǎo)體制造商提供了先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備。目前,中微已有超過200個刻蝕反應(yīng)臺在亞洲16條國際領(lǐng)先的半導(dǎo)體生產(chǎn)線上運(yùn)行。中微在硅技術(shù)上積累的豐富經(jīng)驗和工藝知識,以及它嚴(yán)謹(jǐn)?shù)难邪l(fā)協(xié)議和材料工程背景,造就了一系列半導(dǎo)體制造前端設(shè)備,F(xiàn)在,中微又將這些運(yùn)用在了PrismoD-Blue的研發(fā)上。中微新的LED客戶還將受益于公司嚴(yán)格的供應(yīng)商管理協(xié)議。
現(xiàn)在對于一個新的MOCVD設(shè)備制造商來說也是一個良好的發(fā)展時機(jī),尤其對于研發(fā)和制造中心在上海的制造商來說。根據(jù)法國市場研究機(jī)構(gòu)YoleDevelopment預(yù)測,到2017年,MOCVD設(shè)備的市場規(guī)模預(yù)計將達(dá)到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導(dǎo)地位。燈泡價格將下跌,LED照明將取代傳統(tǒng)白熾燈。燈泡變得更便宜,當(dāng)然就意味著LED制造商能獲取的利潤更緊縮,這就使得設(shè)備制造商提高生產(chǎn)效率比以往任何時候都顯得尤為重要。中微的MOCVD設(shè)備具有極高的生產(chǎn)效率,在這樣的市場環(huán)境中則更顯其優(yōu)勢。
“進(jìn)入半導(dǎo)體照明市場是公司發(fā)展策略中的一個重要組成部分,”中微資深副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說,“我們專業(yè)的MOCVD技術(shù)團(tuán)隊建立了一個優(yōu)勢明顯、極具靈活性的MOCVD平臺,它具有其獨(dú)特創(chuàng)新性,可以解決復(fù)雜技術(shù)和生產(chǎn)方面帶來的挑戰(zhàn)。能夠為客戶提供高產(chǎn)能低成本的技術(shù),用于他們先進(jìn)的LED器件制造,對此我們感到非常興奮!
PrismoD-Blue具有卓越的工藝性能和生產(chǎn)效率:中微的Prismo機(jī)臺可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反應(yīng)器結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)可以使其加工靈活性達(dá)到最大化以外,PrismoD-Blue在每個關(guān)鍵性能指標(biāo)上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測試中,它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內(nèi)和片與片之間的均勻性以及很好的重復(fù)性。這些結(jié)果都是在整個外延晶片加工的過程中未作任何工藝參數(shù)調(diào)整而得出的。外延晶片加工的過程對于反應(yīng)腔室表面的條件、化學(xué)氣體環(huán)境、溫度轉(zhuǎn)換控制和其他可變因素都極為敏感,因此在這種加工過程中,能達(dá)到持續(xù)的重復(fù)性確實(shí)有它獨(dú)到的一面。
在上述馬拉松測試中,PrismoD-Blue從未發(fā)生過任何異常中斷,中微通過對工藝參數(shù)現(xiàn)場實(shí)時的監(jiān)控實(shí)現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復(fù)雜的軟件程序、先進(jìn)的傳輸模塊、流程自動化和控制技術(shù)。這些同樣也是使得中微的半導(dǎo)體前端加工設(shè)備被業(yè)界廣為認(rèn)可的技術(shù)。
PrismoD-Blue還被進(jìn)一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護(hù)。這對于一個發(fā)展迅速并看重成本的LED芯片制造商來說是至關(guān)重要的。卓越的加工性能和正?蛇\(yùn)行時間可以拉大服務(wù)之間的差距,而新穎的設(shè)計特點(diǎn)則能夠使得設(shè)備維護(hù)更加簡便易行。同時,自動化、可編程的維護(hù)程序使得反應(yīng)腔開關(guān)操作更加安全、快捷、可預(yù)測并且不易出錯。
PrismoD-Blue目前已擁有100多項專*(包括授權(quán)和未授權(quán)專*)以保護(hù)其獨(dú)特的創(chuàng)新性。此外,它還遵循了半導(dǎo)體制造規(guī)則并完全符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司
中微公司致力于為全球芯片生產(chǎn)廠商和相關(guān)高科技領(lǐng)域的世界領(lǐng)先公司提供一系列高端的芯片生產(chǎn)設(shè)備。公司目前主要提供等離子體刻蝕設(shè)備和硅通孔(TSV)刻蝕設(shè)備,用于國際一線客戶22納米及以下的芯片加工制造。目前,中微已有200多個刻蝕反應(yīng)臺在亞洲地區(qū)眾多國際領(lǐng)先的生產(chǎn)線上運(yùn)行。