CMOS型集成流量傳感器

項(xiàng)目簡介 本發(fā)明涉及測量氣體流量的集成化的半導(dǎo)體傳感器集成電路。 測量氣體流量的傳感器通常采用已有七十年歷史的“熱絲”裝置，體積小，產(chǎn)量低，價格高，功耗大。于是出現(xiàn)了半導(dǎo)體傳感器。但是，目前已有半導(dǎo)體型流量傳感器，采用雙極型結(jié)構(gòu)。沒有與訊號處理電路做在同一芯片上。與目前成熟的大規(guī)模集成電路主流工藝MOS工藝不相一致，因而不利于制成集成化的、帶有訊號處理電路的穩(wěn)定的半導(dǎo)體傳感器。不利于低成本大批量生產(chǎn)。 本發(fā)明的目的是提供一種與目前大規(guī)模集成電路主流工藝（N阱）CMOS完全兼容的，帶有訊號處理電路的穩(wěn)定的氣體流量傳感器。 采用NMOS作差分放大器，CMOS作與處理用的運(yùn)算放大器，使元件數(shù)目減少。采用N阱CMOS工藝可以制備這種集成的流量傳感器而不需要任何附加工藝步驟，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明的目的。 單位名稱 東南大學(xué)科技處　 地址 南京市四牌樓2號五四樓一樓　 郵政編碼 210096　 聯(lián)系人 未知　 電話 3792652 3792261　 電子郵件 未知　 網(wǎng)址 未知　 所屬地區(qū) 江蘇省