低溫泵真空抽氣系統(tǒng)故障的最基本現(xiàn)象是真空系統(tǒng)中的壓力升高。引起系統(tǒng)壓力升高的原因:一是真空系統(tǒng)的漏氣;二是低溫泵的工作出現(xiàn)故障。
真空系統(tǒng)的漏氣可以用氦質(zhì)譜檢漏儀分別對真空容器和低溫泵本身進行檢漏,若發(fā)現(xiàn)不漏氣,則必須按以下情況逐一排除低溫泵的故障。
一、真空容器中壓力升高(二級冷陣的溫度低于20K)
可能原因為:
1、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣,可以通過a.進行真空系統(tǒng)檢漏;b.檢查安全減壓閥是否復(fù)位;c.對低溫泵機械檢漏來排除。
2、被抽容器中存在著He、Ne、H2 等不可凝氣體(因吸附板飽和),可以對泵進行再生處理來解決此故障。
3、固定二級冷陣的螺釘松動,使吸附抽氣表面溫度高于20 K(一般情況下,此種可能性較小),處理此類故障可以將泵恢復(fù)到常溫后,檢查一、二級冷陣裝配情況。
二、真空容器中壓力升高(低溫表面的溫度低于20K)
可能原因為:
1、二級冷陣的吸附器已吸附飽和,此時需要對泵進行再生。
2、抽氣負(fù)載過高,可以通過利用屏蔽或降低輻射表面溫度來解決此類故障。
三、低溫泵二級冷陣的溫度達(dá)不到20K,或需很長時間才能達(dá)到20K。
此類故障的原因一般為:
1、制冷機制冷能力變差,解決這類故障的方法a.檢查壓縮機供氣壓力是否正常,如壓力低機械補氣;b.對泵進行再生處理;c.蓄冷器被污染,或一、二級密封環(huán)磨損。
2、壓縮機氣壓低,這時就需要對其補氣。
3、真空系統(tǒng)或低溫泵本身有漏氣,此時需要a.真空系統(tǒng)進行檢漏;b.泵檢漏、安全閥是否復(fù)位。
4、低溫泵內(nèi)部存在較多的He、Ne、H2 等不可凝氣體(分壓較高),這時用干燥N2 氣沖洗或再生即可。
5、壓縮機工作不正常,這時需要檢修壓縮機。
四、低溫泵發(fā)出隆隆響聲,這時一般都是50Hz/60Hz 開關(guān)位置錯,只要置開關(guān)于正確位置即可解決此類故障。