MEMS加速度傳感器研究項目獲78萬元立項

     日前，從國家自然科學(xué)基金委員會獲悉，沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批復(fù)，項目總經(jīng)費78萬元，執(zhí)行年限2014年1月至2017年12月。
　　
　　該獲批立項項目，將基于納米功能材料設(shè)計一種帶有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度傳感器。利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通過對該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計，解決加速度傳感器中普遍存在的諧振頻率與靈敏度相互制約的難題，達到均衡提高固有諧振頻率和靈敏度的目的；突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù)，研制出新型加速度傳感器樣品，并最終驗證這種壓阻加速度傳感器的可行性及優(yōu)勢。該項目的開展可望在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究中獲得創(chuàng)新性成果。在傳感技術(shù)日益受到高度重視的背景下，這些成果將具有廣闊的應(yīng)用前景。