昭信：以技術(shù)為支撐 推進(jìn)MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化

網(wǎng)訊 他身為華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院的教授，在半導(dǎo)體工藝設(shè)備設(shè)計與制造等方面造詣頗深；他自認(rèn)為是MOCVD設(shè)備行業(yè)的“后來者”，卻帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊早已展開了創(chuàng)新研發(fā)之路，并擁有了多項(xiàng)MOCVD核心專*；他是國產(chǎn)MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的推動者，率領(lǐng)企業(yè)將國產(chǎn)MOCVD設(shè)備成功交付企業(yè)使用......他就是廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司(以下簡稱“昭信”)的總經(jīng)理甘志銀先生,將與大家分享了他在MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化過程中摸索出的很多值得業(yè)界借鑒的經(jīng)驗(yàn)。

設(shè)備，實(shí)際上，包括我在內(nèi)的整個研發(fā)團(tuán)隊都是來自于華中科技大學(xué)。

企業(yè)就很困難。

前景很好，但是市場需要一步步推進(jìn)，成本需要一步步消化。包括MOCVD設(shè)備在內(nèi)，2010-2011年一下從300多臺增長到700多臺，增長速度過快導(dǎo)致目前產(chǎn)業(yè)發(fā)展的困局。另外，LED應(yīng)用也在不斷地推動這個產(chǎn)業(yè)往前進(jìn)，并在推的過程中由于企業(yè)太多，魚目混雜，大家會考慮LED產(chǎn)品是不是好產(chǎn)品。

　　尤其MOCVD設(shè)備企業(yè)，風(fēng)險很大的一塊就是技術(shù)的跟風(fēng)性。從2005年國外30片機(jī)，2007年50片機(jī)、55片機(jī)，然后又到69片機(jī)，企業(yè)疲于奔命不斷的跟風(fēng)。由于企業(yè)不斷煩的跟風(fēng)就造成兩個不平等，一個是政府的補(bǔ)貼造成企業(yè)之間的不平等，一個是市場的設(shè)備更新造成了企業(yè)發(fā)展的不平等。后來投資者用同樣的錢甚至用更少的錢買了更大的產(chǎn)能，造成行業(yè)里看起來買了很多臺設(shè)備，但是很多臺設(shè)備都是2007年、 2009年以前淘汰的廢品。對于MOCVD設(shè)備來說，國內(nèi)MOCVD設(shè)備從統(tǒng)計數(shù)字看好象過剩，實(shí)際上不是過剩，只是大家都在思考LED整個產(chǎn)業(yè)到底應(yīng)該怎么走，現(xiàn)在還沒有形成對它強(qiáng)烈的市場需求，這也正是我們所面臨的發(fā)展困局。

　　記者：您可以說是技術(shù)出身，您客觀地評價一下目前國產(chǎn)MOCVD設(shè)備的技術(shù)水平到底到達(dá)了什么地步？

　　甘志銀：我們從2009年做MOCVD，當(dāng)時做生產(chǎn)研模只有一家，到2010年、2011年做MOCVD的非常多，我只能評價我自己。通過這幾年發(fā)展，我們發(fā)展MOCVD的技術(shù)跟國外沒有什么差別，我們所開發(fā)出來的MOCVD技術(shù)不比他們差，甚至很多方面還比他們強(qiáng)。我們的設(shè)備實(shí)際上在很多情況下表現(xiàn)的比國外設(shè)備好，包括設(shè)備在生產(chǎn)線使用的情況，也是呈現(xiàn)這樣一個現(xiàn)實(shí)�，F(xiàn)在企業(yè)對國產(chǎn)設(shè)備認(rèn)知的存在心里誤區(qū)，尤其在學(xué)術(shù)群體當(dāng)中MOCVD設(shè)備是個皇冠，覺得國內(nèi)企業(yè)不太可能做好。其實(shí)企業(yè)存在疑慮很正常，隨著我們企業(yè)在市場上投放更多MOCVD設(shè)備樣板工程，這個疑慮會逐漸打消。