核心提示:
太陽(yáng)能電池的效率據(jù)稱得到了極大的提高。制造商所遇到的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)之一;特別是在濺射工藝——CIGS材料沉積的重要技術(shù)之一中,對(duì)于轉(zhuǎn)換率提高具有極重要的作用。而與濺射沉積薄膜所具有的較高的橫向同質(zhì)性不同,濺射靶材通常情況下具有腐蝕性特性,并且不具備同質(zhì)性,這是由于不同的等離子體密度而造成的。因此,即使在大多數(shù)靶材區(qū)域內(nèi)都具有足夠的材料,一些靶材也不得不被更換。為克服這一缺陷,具有不同外徑的“犬骨型”靶材——旋轉(zhuǎn)靶材和不同厚度的靶材——是延長(zhǎng)靶材壽命和更換周期的解決方案之一。
解決方案:將濺射系統(tǒng)由平面結(jié)構(gòu)更改為旋轉(zhuǎn)靶材可將靶材的利用率由30%有效提高至70%,從而節(jié)省了昂貴的原材料的使用。通過由純鉬制成的單片鉬旋轉(zhuǎn)靶材所完成的背接觸鉬沉積具有額外的益處:即無(wú)需使用昂貴的焊接材料將鉬材料與不銹鋼管相連接。此外,高達(dá)30 kW/m的較高的濺射能源也可在工藝中使用。這就造成了較高的熱負(fù)載,而焊接型的靶材是無(wú)法承受這種熱負(fù)載的:常用的焊接材料是銦,而該材料在156°C的時(shí)候就被熔化,因此鉬靶材可排除出現(xiàn)剝落現(xiàn)象的風(fēng)險(xiǎn)。較高的減少能量同樣也可實(shí)現(xiàn)較高的沉積率,并改善薄膜的特性,如提高電導(dǎo)率等。
MoNa單片鉬質(zhì)靶材和犬骨型靶材是為客戶需要而專門制作的
產(chǎn)品應(yīng)用:本品可應(yīng)用在CIGS薄膜組件的生產(chǎn)過程中。
相關(guān)信息:MoNa單片鉬質(zhì)靶材和犬骨型靶材是為客戶需要而專門制作的。同時(shí),MoNa產(chǎn)品還可提供一種新式的材料合金,可有效提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)換率。