核心提示:
。該器件采用片式技術,緊湊、精確而且靈活,占用面積僅1.6mm×1.6mm,設計壓力范圍介于1至40巴。這使其非常適合于對小型化要求較高的汽車、工業(yè)和醫(yī)療電子領域。的典型非線性僅0.3%。芯片也具有極高的循環(huán)穩(wěn)定性,整個測量范圍內溫漂僅為0.1%FS。憑借這些特點,這類傳感器是精確和穩(wěn)定的變送系統理想的基礎元件。
芯片具有優(yōu)化的焊盤設計,這些焊盤則具有適用于晶片檢測器的距離擴大了的測點。與成功的C28和C29系列相同,新的小型化的C32變體允許在芯片的頂部和底部進行芯片級的玻璃預封裝。底部的玻璃封裝允許適合絕對壓力和差壓應用的鍵連或粘接技術對芯片進行低應力加工。絕對壓力測量的參考體積由芯片頂部額外的玻璃襯底形成。因此,這些測量也可以在非腐蝕性液體和氣體中進行。